聚合物原料薄膜的發(fā)束

重離子由離子源產(chǎn)生，然后由回旋加速器加速至高達(dá)4 MeV/uma的能量。

對(duì)于光束，聚合物薄膜在真空下通過(guò)掃描離子束以恒定速度解繞;因此，軌跡密度（或所需的孔密度）由離子束強(qiáng)度和薄膜速度精確定義。

薄膜被拉過(guò)彎曲輥以增加軌道的角度展開(kāi)，從而通過(guò)避免平行的雙軌道來(lái)提高膜過(guò)濾器的選擇性。

束狀聚合物薄膜的化學(xué)蝕刻

在光束過(guò)程中產(chǎn)生的線性軌跡主要以大分子鏈斷裂、高度親水化學(xué)基團(tuán)和自由真空為特征。

因此，軌道比周?chē)谋倔w聚合物對(duì)化學(xué)物質(zhì)更敏感，并且可以選擇性地蝕刻，導(dǎo)致它們暴露在孔隙中。

化學(xué)蝕刻通常使用濃度和溫度控制良好的堿性水溶液進(jìn)行。 它的主要特點(diǎn)是軌道蝕刻速率（Vt）和體蝕刻速率（Vg). 高比率Vt/Vg 需要獲得具有圓柱形孔的均勻膜過(guò)濾器。

孔徑由蝕刻條件定義，而孔密度由光束參數(shù)定義。 因此，孔徑和孔密度可以獨(dú)立選擇。